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多模態顯微成像缺陷檢測儀


多模態顯微成像缺陷檢測儀

       多模態顯微成像缺陷檢測儀(Model MDI-2000),是一款把激光散射掃描成像、明暗場光學成像、光熱顯微成像三種技術集成在一起,三位一體,模式自動切換,一鍵式全自動操作,特別適合超精密加工工藝的研究以及強激光元件質量評價。

   產品特征

1、高速度;

2、高靈敏度;

3、 高重復性;

4、一鍵式全自動操作;

5、樣品更換便捷、無需重復校準。

   主要技術參數
多模態顯微成像缺陷檢測儀

檢測方式

全自動

激光散射缺陷尺寸靈敏度

50nm(硅) ,200nm(石英)

光學明場暗場成像分辨率

亞微米(標配),可以優于500nm(選項)

光熱顯微成像分辨率

亞微米(標配),可以優于500nm(選項) 

注:可以根據客戶需求提供同類特制儀器和相關測試的解決方案,包括大尺寸元件解決方案。


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