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大口徑光學元件散射缺陷檢測儀


大口徑光學元件散射缺陷檢測儀

       大口徑光學元件散射缺陷檢測儀(Model LSDI-2000-LA),適用于大口徑光學材料、半導體材料和金屬等材料拋光后的表面缺陷檢測和分析。本系統是一款非接觸式、全自動的檢測儀器,能夠高速檢測待測表面的劃痕、麻點、臟污等特性。

   產品特征

1. 高速度

2. 高靈敏度

3. 高重復性

4. 全自動操作

5. 可根據不同標準自動判別

   主要技術參數
大口徑光學元件散射缺陷檢測儀

型號

LSDI-2000-LALSDI-3000-LA

檢測方式

全自動全自動

檢測靈敏度

≤ 500nm65 nm~90 nm

樣品尺寸

米級

φ 300 mm

注:可以根據客戶需求提供同類特制儀器和相關測試的解決方案。

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